工業(yè)超純水設備是工業(yè)中制取純水或者超純水的重要設備，它產(chǎn)水的水質(zhì)比較高。其中工藝的選擇和組合是超純水設備產(chǎn)水的關鍵，工藝流程如下：
　　1、預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象。
　　2、預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象。
　　3、預處理-反滲透-水箱-陽床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過濾器-用水對象。
　　4、預處理-一級反滲透-加藥機(PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象。
　　選擇具體的工藝流程要根據(jù)用戶的實際情況決定的，器工藝流程不同也出水的水質(zhì)也是不同的